| 发明名称 | 压电材料的抛光 | ||
| 摘要 | 本发明描述了具有致动器的器件，该致动器具有经抛光的压电材料。形成经抛光的压电材料的方法包括：将烧结的压电材料块结合到基底上和化学机械抛光该烧结的压电材料块。然后可以将该烧结的压电材料块的经抛光的表面结合到器件层上以形成致动器。 | ||
| 申请公布号 | CN101484399A | 申请公布日期 | 2009.07.15 |
| 申请号 | CN200780025467.X | 申请日期 | 2007.05.04 |
| 申请人 | 富士胶卷迪马蒂克斯股份有限公司 | 发明人 | 陈振方;杰弗里·伯克迈耶;安德烈亚斯·拜布尔 |
| 分类号 | C03C25/68(2006.01)I;C23F1/00(2006.01)I | 主分类号 | C03C25/68(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 宋 莉 |
| 主权项 | 1. 一种形成组件的方法，包括：将烧结的压电材料块结合到基底上；和化学机械抛光该烧结的压电材料块。 | ||
| 地址 | 美国新罕布什尔州 | ||