| 发明名称 | 粘接装置和用该粘接装置制造有机发光器件的方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种粘接装置和用该粘接装置制造有机发光器件的方法。该粘接装置包括工艺腔室、第一支架和第二支架以及开关阀。第一和第二支架设置在工艺腔室内以安全地装载和固定基板。开关阀设置在工艺腔室的预定区域处以通过打开和关闭工艺腔室来控制该工艺腔室内的压力。第一基板支架和第二基板支架中的至少一个包括静电吸盘，所述静电吸盘包括两个以上具有不同极性的电极和用于翻转电极极性的极性翻转单元。 | ||
| 申请公布号 | CN100514556C | 申请公布日期 | 2009.07.15 |
| 申请号 | CN200710105826.4 | 申请日期 | 2007.05.30 |
| 申请人 | 乐金显示有限公司 | 发明人 | 俞忠根;全爱暻 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;H01L21/56(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I;H05B33/10(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人 | 徐金国;祁建国 |
| 主权项 | 1、一种粘接装置，包括：工艺腔室；第一基板支架和第二基板支架，其设置在工艺腔室中，用于安全地装载和固定基板，第一基板支架和第二基板支架中的至少一个包括静电吸盘，所述静电吸盘包括两个以上具有不同极性的电极和用于翻转电极极性的极性翻转单元；以及开关阀，其设置在工艺腔室的预定区域处并且打开和关闭该工艺腔室以控制该工艺腔室内的压力。 | ||
| 地址 | 韩国首尔 | ||