导轨滚转角的非接触激光测量装置

摘要

本实用新型公开的一种导轨滚转角的非接触激光测量装置，包括激光器，沿激光器光束射出方向依次设置有固接于工作台上的敏感元件和反射镜，敏感元件为1/2波片，反射镜为直角棱镜，沿直角棱镜反射光射出方向设置有偏振分光镜，1/2波片位于直角棱镜与偏振分光镜之间，沿偏振分光镜两束分光射出方向分别设置有光电探测器A和光电探测器B，光电探测器A和光电探测器B分别与信号处理电路相连接。本实用新型测量装置光路结构简单、安装调试方便，在保证测量精度的前提下，测量灵敏度进一步提高，适于设备导轨滚转角的在线动态测量，可有效提高设备的精度。

主权项

1. 一种导轨滚转角的非接触激光测量装置，包括激光器(1)，沿激光器(1)光束射出方向依次设置有固接于工作台(5)上的敏感元件和反射镜，其特征在于，所述的敏感元件为1/2波片(12)，所述的反射镜为直角棱镜(13)，沿直角棱镜(13)反射光射出方向设置有偏振分光镜(2)，1/2波片(12)位于直角棱镜(13)与偏振分光镜(2)之间，沿偏振分光镜(2)两束分光射出方向分别设置有光电探测器A(10)和光电探测器B(11)，所述光电探测器A(10)和光电探测器B(11)分别与信号处理电路(8)相连接。