双腔交替式非晶硅光伏薄膜化学气相沉积设备

摘要

本实用新型涉及一种双腔交替式非晶硅光伏薄膜化学气相沉积设备，是非晶硅薄膜太阳能电池的规模化生产中一种核心工艺设备，所述双腔交替式非晶硅光伏薄膜化学气相沉积设备包括真空镀膜机。该真空镀膜机设有两个真空腔体，每个真空腔体设有一到多个电极盒，每个电极盒可放置多片玻璃，所述两个真空腔体共用真空获得/压力测量系统，工艺气体/流量控制系统，射频电源/匹配器系统，并通过中心控制系统在时间上控制两真空腔体的化学气相沉积为交替工作过程，该设备大幅度地提高了非晶硅薄膜太阳能电池量产过程中的设备可靠性，提高了该高质量低速沉积工艺技术的产量，能够有效降低生产成本。

主权项

1. 一种双腔交替式非晶硅光伏薄膜化学气相沉积设备，包括真空镀膜机，所述真空镀膜机包括真空腔体及与其连接的加热/冷却系统、真空获得/压力测量系统、工艺气体/流量控制系统、射频电源/匹配器系统和中心控制系统，其特征在于：该真空镀膜机设有两个真空腔体，每个真空腔体设有一至多个电极盒。