发明名称 一种傅立叶透镜系统
摘要 本发明提出一种傅立叶透镜系统,从物面至像面沿其光轴方向依次包括第一凸透镜、弯月厚透镜以及第二凸透镜。该第一凸透镜,该弯月厚透镜和该第二凸透镜之间的沿轴空气间隙小于20毫米。本发明揭露的傅立叶透镜系统具有较大数值孔径和角视场,结构紧凑,工作距较长。
申请公布号 CN101482644A 申请公布日期 2009.07.15
申请号 CN200810204353.8 申请日期 2008.12.10
申请人 上海微电子装备有限公司 发明人 关俊
分类号 G02B13/00(2006.01)I;G02B17/08(2006.01)I 主分类号 G02B13/00(2006.01)I
代理机构 上海思微知识产权代理事务所 代理人 屈 蘅;李时云
主权项 1. 一种傅立叶透镜系统,其特征在于,从物面至像面沿其光轴方向依次包括:第一凸透镜;弯月厚透镜;以及第二凸透镜,其中,该第一凸透镜,该弯月厚透镜和该第二凸透镜之间的沿轴空气间隙小于20毫米。
地址 201203上海市张江高科技园区张东路1525号