微机电系统的微型化磁通门传感器

摘要

一种微机电技术领域的微机电系统的微型化磁通门传感器。本发明包括衬底、激励线圈、接收线圈、磁芯、引脚、聚酰亚胺绝缘材料，闭合的矩形磁芯上对称绕制两组相连的三维螺线管激励线圈，与激励线圈垂直绕制一组三维螺线管接收线圈，激励线圈和接收线圈均通过聚酰亚胺材料与磁芯绝缘隔离，激励线圈和接收线圈均位于衬底上，并且两端连接引脚。所述的磁芯材料为电镀的NiFe合金。本发明解决了传统磁通门传感器安装调试困难，稳定性、重复性差的问题，制造工艺与大规模集成电路工艺兼容，可以和接口电路集成制造，在许多新的领域具有广泛应用。

主权项

1、一种微机电系统的微型化磁通门传感器，其特征在于包括衬底(1)、激励线圈(2)、接收线圈(3)、磁芯(4)、引脚(5)、聚酰亚胺绝缘材料(6)，闭合的矩形磁芯(4)上对称绕制两组相连的三维螺线管激励线圈(2)，与激励线圈(2)垂直绕制一组三维螺线管接收线圈(3)，激励线圈(2)和接收线圈(3)均通过聚酰亚胺材料(6)与磁芯(4)绝缘隔离，激励线圈(2)和接收线圈(3)均位于衬底(1)上，并且两端连接引脚(5)。