| 发明名称 | MEMS麦克风 | ||
| 摘要 | 本实用新型有关一种MEMS麦克风，其包括：底板、覆盖于底板的上盖和分别置于底板上的换能器和控制电路，底板设有第一声腔，上盖设有底壁、自底壁延伸的侧壁，换能器设有第三声腔，其中，上盖的侧壁上自远离底壁的一端向底壁凹陷有第二声腔，所述第一声腔与第二声腔和第三声腔相通。可提高MEMS麦克风的灵敏度以及改善频响特性。 | ||
| 申请公布号 | CN201274552Y | 申请公布日期 | 2009.07.15 |
| 申请号 | CN200820146539.8 | 申请日期 | 2008.08.08 |
| 申请人 | 瑞声声学科技(深圳)有限公司 | 发明人 | 孟珍奎;吴志江 |
| 分类号 | H04R1/08(2006.01)I | 主分类号 | H04R1/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 1. 一种MEMS麦克风，其包括：底板、覆盖于底板的上盖和分别置于底板上的换能器和控制电路，其中，底板设有第一声腔，上盖设有底壁、自底壁延伸的侧壁，换能器设有第三声腔，其特征在于：上盖的侧壁上自远离底壁的一端向底壁凹陷有第二声腔，所述第一声腔与第二声腔和第三声腔相通。 | ||
| 地址 | 518057广东省深圳市南山区高新技术产业园北区新西路18号 | ||