配置有低耗费冷却附件的单晶提拉培育装置

摘要

本实用新型涉及一种配置有低耗费冷却附件的单晶提拉培育装置，属于单晶生长领域。在无机大单晶培育工艺中，真空提拉炉是常用设备，其炉壳必须通水冷却，为此目的，按常规需要高耗费地挖建地下钢筋混凝土贮水槽。本案抛弃了常规的高耗费的安装规范。本案装置包括单晶提拉炉，以及，水泵，在单晶提拉炉的炉壳中装设有炉壳冷却水流通通道，炉壳冷却水流通通道的两端分别与装设在炉壳外部的冷却水进水接口以及冷却水出水接口联通，装设在炉壳外部的冷却水进水接口与水泵的出水口联通，本案要点是，水泵的进水口与逆流式冷却塔的出水口联通，炉壳外部的冷却水出水接口与逆流式冷却塔的进水口联通。本案装置冷却附件耗费低廉。

主权项

1. 配置有低耗费冷却附件的单晶提拉培育装置，该装置包括单晶提拉炉，以及，水泵，在单晶提拉炉的炉壳中装设有炉壳冷却水流通通道，炉壳冷却水流通通道的两端分别与装设在单晶提拉炉炉壳外部的冷却水进水接口以及冷却水出水接口联通，装设在单晶提拉炉炉壳外部的冷却水进水接口与水泵的出水口联通，其特征是，水泵的进水口与逆流式冷却塔的出水口联通，装设在单晶提拉炉炉壳外部的冷却水出水接口与逆流式冷却塔的进水口联通。