发明名称 | 一种快拆式内传输框架结构 | ||
摘要 | 本实用新型提供了一种快拆式内传输框架结构,该结构在真空溅镀的腔体内设置了一个框架,该框架由若干副框架组成,各副框架的组接处外端各设有一对接板,并于各该对接板上形成有定位部,该定位部为螺纹孔结构,可利用一如螺丝等定位件锁设于相对接合的二定位部处,将副框架结合为一体,因此可方便框架于腔体内作组装或拆卸的作业。 | ||
申请公布号 | CN201272830Y | 申请公布日期 | 2009.07.15 |
申请号 | CN200820129483.5 | 申请日期 | 2008.08.18 |
申请人 | 凌嘉科技股份有限公司 | 发明人 | 黎瑞海 |
分类号 | C23C14/34(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/34(2006.01)I |
代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人 | 许 静 |
主权项 | 1. 一种快拆式内传输框架结构,包含用于真空溅镀的框架,其特征在于:所述框架由若干副框架组成,各副框架相组接的外端各设有一对接板,各对接板上形成有定位部,所述副框架通过相对接的定位部结合为一体。 | ||
地址 | 中国台湾台中市 |