发明名称 双折射共光程光学装置
摘要
申请公布号 TWM361039 申请公布日期 2009.07.11
申请号 TW097223592 申请日期 2008.12.30
申请人 亚东技术学院 ORIENTAL INSTITUTE OF TECHNOLOGY 台北县板桥市四川路2段58号 发明人 张尧盛
分类号 G03F7/20 (2006.01) 主分类号 G03F7/20 (2006.01)
代理机构 代理人
主权项 1.一种双折射共光程光学装置,系可供以应用一干涉仪中,用以检测奈米级以下之线位移量,其包括:一双折射晶体,可使一光源所产生的一光线投射后,可使垂直入射的该光线,在通过该双折射晶体时,分成一寻常光线及一非寻常光线;一光学平台,由一固定反射镜及一奈米位移反射镜所组构而成,该寻常光线系可通过固定反射镜,该非寻常光线则通过该奈米位移反射镜。2.如申请专利范围第1项所述的双折射共光程光学装置,其中,该寻常光线为一参考光。3.如申请专利范围第1项所述的双折射共光程光学装置,其中,该非寻常光线为一感测光。4.如申请专利范围第1项所述的双折射共光程光学装置,其中,该光源系由一雷射光源提供。5.如申请专利范围第4项所述的双折射共光程光学装置,其中,该光源与一光隔绝器相接。6.如申请专利范围第5项所述的双折射共光程光学装置,其中,该光隔绝器与一分光暨检测装置相接。7.如申请专利范围第6项所述的双折射共光程光学装置,其中,该分光暨检测装置由一第一分光镜、一四分之一波片、一第二分光镜、一第一偏极板、一第二偏极板、一第一偏极板、及一第二偏极板所组构而成。8.如申请专利范围第6项所述的双折射共光程光学装置,其中,该分光暨检测装置连结至一合成外差讯号处理装置。9.如申请专利范围第8项所述的双折射共光程光学装置,其中,该合成外差讯号处理装置连结至一显示装置。图式简单说明:第1图,为本创作的组成示意图。第2图,为本创作的实施示意图(一)。第3图,为本创作的实施示意图(二)。第4图,为干涉仪的组成单元示意图。
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