| 摘要 |
1. Способ формирования оптического поляризатора, содержащий ! осаждение слоя металла поверх поверхности оптически прозрачной подложки; ! осаждение первого материала с образованием поверхностного слоя поверх поверхности слоя металла; ! вызывание по существу однородного напряжения в поверхностном слое, при этом напряжение по существу ориентировано в первом направлении; ! облучение поверхности поверхностного слоя потоком ионов до тех пор, пока не образуется твердая наномаска, содержащая по существу периодический массив по существу параллельных удлиненных элементов, имеющих волнообразное поперечное сечение, причем по меньшей мере некоторые из этих элементов имеют следующую структуру в поперечном сечении: внутренняя область из первого материала и первая внешняя область из второго материала, покрывающая первую часть внутренней области; ! травление через поверхностный слой и через слой металла вплоть до поверхности оптически прозрачной подложки при использовании наномаски для переноса рисунка удлиненных элементов в слой металла; и ! удаление частей поверхностного слоя, остающихся после травления, со слоя металла. ! 2. Способ по п.1, в котором плоскость падения ионов в потоке ионов является по существу перпендикулярной первому направлению. ! 3. Способ по п.1, в котором длина волны по существу периодического массива составляет в диапазоне от 20 до 150 нм. ! 4. Способ по п.1, в котором первый материал выбирают из группы, состоящей из кремния, аморфного кремния, оксида кремния, арсенида галлия и эпитаксиального арсенида галлия, германия и кремния-германия. ! 5. Способ по п.1, в котором поток ионов содержит поток ионов азота N2� |
