| 摘要 |
1. Микромеханический гироскоп, содержащий корпус, выполненный в виде платы из диэлектрического материала, наружную рамку, связанную с платой через упругие перемычки, первую инерционную массу, выполненную в виде прямоугольной пластины из кремния с прямоугольной прорезью в центре и сквозными отверстиями, расположенную с зазором относительно платы и связанную с наружной рамкой через упругие перемычки, вторую инерционную массу, выполненную в виде прямоугольной рамки из кремния со сквозными отверстиями и расположенную в прямоугольной прорези в плоскости первой инерционной массы и связанную с ней через упругие перемычки, вибропривод, датчик перемещений и блок электроники, отличающийся тем, что введен электростатический датчик силы, содержащий подвижные элементы, закрепленные на второй инерционной массе, и неподвижные элементы, закрепленные на плате, первый вход которого через блок электроники подключен к выходу датчика перемещений. ! 2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что введено дифференцирующее устройство, вход которого подключен к выходу датчика перемещений, выход подключен к второму входу электростатического датчика силы. ! 3. Устройство по пп.1 и 2, отличающееся тем, что микромеханический гироскоп выполнен в виде капсулы. |
