发明名称 Method for formation silicide nanodot and laminated structure formed silicide nanodot
摘要
申请公布号 KR100907473(B1) 申请公布日期 2009.07.10
申请号 KR20070095633 申请日期 2007.09.20
申请人 发明人
分类号 H01L33/00 主分类号 H01L33/00
代理机构 代理人
主权项
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