Verfahren zur Dampfphasenabscheidung von dünnen Schichten der Dialkylamidodihydroaluminium-Verbindung,申请号DE200660006959T-传众专利搜索

发明名称	Verfahren zur Dampfphasenabscheidung von dünnen Schichten der Dialkylamidodihydroaluminium-Verbindung
摘要
申请公布号	DE602006006959(D1)	申请公布日期	2009.07.09
申请号	DE200660006959T	申请日期	2006.11.16
申请人	UP CHEMICAL CO.LTD.	发明人	SHIN, HYUN KOOCK;KIM, BUM SOO;KIM, JIN SIK;KIM, JUN YOUNG;KIM, YOUNG SEOP;CHO, BO YEARN
分类号	C23C16/20	主分类号	C23C16/20
代理机构		代理人
主权项
地址

您可能感兴趣的专利