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发明名称 Diffusionssystem
摘要
申请公布号 DE602004021222(D1) 申请公布日期 2009.07.09
申请号 DE200460021222T 申请日期 2004.08.24
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO. LTD. 发明人 KIM;CHOI;LEE
分类号 C30B31/06;H01L21/223;C23C8/06;C23C16/44;C23C16/448;C23C16/452;C23C16/54;C30B31/10;C30B31/16;C30B35/00;H01L21/22 主分类号 C30B31/06
代理机构 代理人
主权项
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