| 发明名称 |
Verfahren zur Herstellung poröser Mikrostrukturen, nach diesem Verfahren hergestellte poröse Mikrostrukturen sowie deren Verwendung |
| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung poröser Mikrostrukturen (8, 8') in einem Si-Halbleitersubstrat (1), nach diesem Verfahren hergestellte poröse Mikrostrukturen (8, 8') sowie deren Verwendung.</p> |
| 申请公布号 |
DE102008003453(A1) |
申请公布日期 |
2009.07.09 |
| 申请号 |
DE20081003453 |
申请日期 |
2008.01.08 |
| 申请人 |
ROBERT BOSCH GMBH |
发明人 |
FEYH, ANDO;STUMBER, MICHAEL;SCHOLTEN, DICK;LAERMER, FRANZ;PIRK, TJALF;REICHENBACH, RALF |
| 分类号 |
B81C1/00;A61K9/00;A61L27/54;A61L27/56;A61M31/00;A61M37/00;B81B1/00 |
主分类号 |
B81C1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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