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Ein Kalibrationssubstrat, das eine verlässliche Bestimmung seiner Transmissivität zulässt wird beschrieben. Das Kalibrationssubstrat ist ein scheibenförmiges Substrat, das wenigstens teilweise aus einem ersten Material besteht, das in Abhängigkeit seiner Temperatur sein Transmissionsverhalten ändert und das wenigstens eine Durchgangsöffnung in dem ersten Material besitzt, die wenigstens in einem Teilbereich einen freien Durchgang für optische Strahlung durch das Substrat bildet. Bei einem Verfahren zum Ermitteln einer Vielzahl von Transmissivitäts-Temperatur-Messwerten für das Kalibrationssubstrat wird ein Lichtstrahl auf das Substrat gerichtet, das Substrat erwärmt und/oder abgekühlt und die Intensität des Lichtstrahls auf der gegenüberliegenden Seite des Substrats gemessen. Das Substrat wird dabei um eine Rotationsachse derart gedreht, dass der Lichtstrahl bei jeder Umdrehung frei durch die wenigstens eine Durchgangsöffnung hindurchtritt. Es wird eine Vielzahl von ersten Transmissivitätswerten für das Substrat ermittelt aus einem Vergleich zwischen der gemessenen Intensität des Lichtstrahls, wenn er frei durch die wenigstens eine Durchgangsöffnung hindurchtritt und des Lichtstrahls, wenn er durch das erste Material hindurchgeht, wobei der Vergleich jeweils für Messwerte durchgeführt wird die in bestimmte Zeitintervalle fallen. Ferner wird die Temperatur des Substrats innerhalb der bestimmten Zeitintervalle ermittelt und eine Beziehung zwischen den innerhalb der ...
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