发明名称 |
THERMISCHE ÜBERTRAGUNG VON MIKROSTRUKTURIERTEN SCHICHTEN |
摘要 |
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申请公布号 |
DE60005059(T3) |
申请公布日期 |
2009.07.09 |
申请号 |
DE2000605059T |
申请日期 |
2000.03.24 |
申请人 |
3M INNOVATIVE PROPERTIES CO. |
发明人 |
DEBE, K.;WOLK, B. |
分类号 |
B41M5/382;B81C99/00;B41M3/00;B41M5/385;B41M5/40;B41M5/42;B81C1/00;H01J7/24;H01J9/02;H01L21/48;H01L21/68;H05B33/10;H05K3/04 |
主分类号 |
B41M5/382 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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