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发明名称 Steuerverfahren für ein Beschichtungs- und Entwicklungssystem zum Steuern eines Beschichtungs- und Entwicklungssystems
摘要
申请公布号 DE112007002124(T5) 申请公布日期 2009.07.09
申请号 DE200711002124T 申请日期 2007.09.11
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 HAYASHIDA, YASUSHI;HARA, YOSHITAKA;KANEKO, TOMOHIRO
分类号 H01L21/027;G03F7/30 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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