一种基于法-珀腔阵列式微型光谱仪

摘要

本发明涉及一种基于法-珀腔阵列式微型光谱仪。传统光谱仪器使用条件苛刻、体积庞大，限制了其应用范围。本发明包括阵列排列的多个不同厚度的电光材料板，每个电光材料板的上、下表面镀有上、下层反射膜，构成法-珀腔单元，阵列排列的法-珀腔单元构成法-珀腔阵列。每个法-珀腔单元中上层反射膜镀有增透膜，下层反射膜与探测器紧密连接；每个法-珀腔单元中上层反射膜与对应的电压源的正极连接，下层反射膜与负极连接。透镜设置在法-珀腔阵列的正上方，光源设置在透镜的上方焦点处。本发明具有可多通道并行检测光谱信号，分析速度快、加工难度低、可靠性高、灵活性强、灵敏度高、动态范围大等特点。

主权项

1、一种基于法-珀腔阵列式微型光谱仪，包括阵列排列的多个不同厚度的电光材料板，其特征在于：每个电光材料板的上表面镀有上层反射膜，下表面镀有下层反射膜，每个电光材料板以及对应的上层反射膜和下层反射膜构成法-珀腔单元，所有法-珀腔单元构成法-珀腔阵列；每个法-珀腔单元中上层反射膜的上表面镀有增透膜，每个法-珀腔单元中下层反射膜的下表面与探测器紧密连接；每个法-珀腔单元中上层反射膜与对应的电压源的正极连接，下层反射膜与对应的电压源的负极连接；透镜设置在法-珀腔阵列的正上方，透镜的直径大于法-珀腔阵列的最大径，透镜增透膜镀在透镜的上表面，光源设置在透镜的上方焦点处。