发明名称 |
电子装置和使用其的半导体装置及半导体装置的制造方法 |
摘要 |
本发明提供一种电子装置,其中包括:基板;凸起,其形成于基板表面,由第1金属材料构成;接合膜,其形成于该凸起的顶面,由单体状态融点比与所述第1金属材料的合金融点更低的第2金属材料构成,用于与其他装置的电连接部接合;防扩散膜,其介入于所述凸起顶面和所述接合膜之间,由相对于所述第1金属材料的扩散系数比所述第2金属材料更低的第3金属材料构成,覆盖所述凸起顶面的至少一部分而形成。 |
申请公布号 |
CN100511613C |
申请公布日期 |
2009.07.08 |
申请号 |
CN200580001708.8 |
申请日期 |
2005.06.16 |
申请人 |
罗姆股份有限公司 |
发明人 |
藤井贞雅;西冈太郎 |
分类号 |
H01L21/60(2006.01)I;H01L25/065(2006.01)I;H01L25/07(2006.01)I;H01L25/18(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/60(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 |
代理人 |
李贵亮 |
主权项 |
1. 一种电子装置,包括:基板;凸起,其形成于基板表面,由第1金属材料构成;接合膜,其形成于该凸起的顶面,由第2金属材料构成,用于与其他装置的电连接部的接合,所述第2金属材料单体状态的融点比其与所述第1金属材料的合金的融点更低;和防扩散膜,其介入于所述凸起顶面和所述接合膜之间,由相对于所述第1金属材料的扩散系数比所述第2金属材料更低的第3金属材料构成,以覆盖所述凸起顶面的一部分并且其余部分露出的方式形成,所述接合膜具有:形成于所述防扩散膜上的部分;和与所述凸起的顶面接合而形成的部分。 |
地址 |
日本京都府 |