| 发明名称 | 图像传感器的制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种图像传感器的制造方法。该方法包括如下步骤：制备形成有多个光电二极管的半导体衬底；在该半导体衬底上形成层间介电层；在该层间介电层上形成滤色层；在该滤色层上形成平坦化层；在该平坦化层上形成微透镜层；使形成于该平坦化层上的该微透镜层图案化；以及将包括图案化的该微透镜层的该半导体衬底浸入具有200℃或更高温度的高温传热液体中，由此形成微透镜的弯曲表面。由于微透镜浸入到高温的传热液体中，所以热量均匀地作用至微透镜，这样，防止微透镜彼此结合。由于均匀地形成微透镜的弯曲表面，所以可以提高图像传感器的感光度和色彩重现性能，由此得到高质量的图像传感器。 | ||
| 申请公布号 | CN100511646C | 申请公布日期 | 2009.07.08 |
| 申请号 | CN200610156704.3 | 申请日期 | 2006.12.28 |
| 申请人 | 东部电子股份有限公司 | 发明人 | 金相植 |
| 分类号 | H01L21/822(2006.01)I;H01L27/146(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/822(2006.01)I |
| 代理机构 | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人 | 郑小军 |
| 主权项 | 1. 一种图像传感器的制造方法，该方法包括如下步骤：制备形成有多个光电二极管的半导体衬底；在该半导体衬底上形成层间介电层；在该层间介电层上形成滤色层；在该滤色层上形成平坦化层；在该平坦化层上形成微透镜层；使形成于该平坦化层上的该微透镜层图案化；以及将包括图案化的该微透镜层的该半导体衬底浸入具有200℃或更高温度的高温传热液体中，由此形成微透镜的弯曲表面。 | ||
| 地址 | 韩国首尔 | ||