合成石英玻璃的制造方法及合成石英玻璃体

摘要

本发明的第一目的在于，提供一种杂质较少且具有与天然石英玻璃同等以上的高温粘度特性，并且即使在高温气氛下也难以变形的合成石英玻璃的制造方法，特别是，不起泡且致密的高耐热性合成石英玻璃的制造方法。本发明的第二目的在于，提供容易由本发明的制造方法制得的高耐热性合成石英玻璃体，特别是不起泡、细密、具有高红外线吸收率及放出率，且具有极高的碱金属扩散防止效果的透明及黑色石英玻璃体。本发明是制造在245nm的吸收系数为0.05cm^-1以上的高耐热性石英玻璃体的方法，其中对二氧化硅多孔体进行还原处理后进行烧成处理，获得致密玻璃体。

主权项

1. 一种合成石英玻璃的制造方法，其特征在于，是制造在245nm的吸收系数为0.05cm-1以上的石英玻璃体的方法，其中对二氧化硅多孔体进行还原处理和烧成处理，获得致密玻璃体，上述还原处理，是使上述二氧化硅多孔体在具有还原性的气体或含有该气体的气氛中并在一定温度下进行反应的处理，上述具有还原性的气体是含氮和/或碳的挥发性硅化合物。