| 发明名称 | 真空蒸镀机 | ||
| 摘要 | 本发明涉及真空蒸镀机。通过在真空蒸镀机上设置对于从蒸发室(19a)、(19b)侧朝混合室(22)侧流入的蒸镀材料(16a)、(16b)的蒸气量在玻璃基板(12)的板宽度方向L均匀地控制的阀部件(21)；以及在玻璃基板(12)的下面侧以平行于玻璃基板(12)的被蒸镀面的方式配置，且在蒸镀室(25a)内对在混合室(22)中混合的蒸镀材料(16a)、(16b)的蒸气进行面内分布和流动的调整的多孔挡板(23)，从而谋求对于玻璃基板(12)的板宽度方向L的蒸镀均匀化。由此，本发明能够提供一种即使对大型基板也能形成蒸镀材料的蒸气的均匀流动同时，还能控制蒸气分布，从而能够对蒸镀进行均匀化的真空蒸镀机。 | ||
| 申请公布号 | CN100510163C | 申请公布日期 | 2009.07.08 |
| 申请号 | CN200510006399.5 | 申请日期 | 2005.01.28 |
| 申请人 | 三菱日立制铁机械株式会社 | 发明人 | 神川进;森崎裕彦;和田宏三;平井悦郎;小林敏郎;加藤光雄;平野龙也 |
| 分类号 | C23C14/24(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I;C23C14/56(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/24(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 汪惠民 |
| 主权项 | 1. 一种真空蒸镀机，其特征是，包含以下各部分：设置在真空容器内并运送基板的运送机构；设置在所述基板的下面侧，且至少具有与所述基板的运送方向垂直的方向即板宽度方向的被蒸镀区域的长度的蒸镀室；设置在所述真空容器的下方侧，通过气化或者升华多个蒸镀材料而产生所述多个蒸镀材料的蒸气的多个蒸发室；对所述蒸镀材料的蒸气进行混合的混合室；至少具有在所述基板的所述板宽度方向上的被蒸镀区域的长度，同时在所述基板的下面侧，以平行于所述基板的被蒸镀面表面的方式配置，且调整所述蒸镀室内的所述蒸镀材料的蒸气的分布和流动的蒸气整流机构；对从所述蒸发室到所述蒸镀室的真空容器的壁面进行加热的加热机构，其中，所述蒸气整流机构又包含以下各部分：具备多个第一贯通孔的固定板；在所述固定板的平面上，以在所述基板的所述板宽度方向上可动的方式配置，同时具备控制所述多个第一贯通孔的开口面积的开口面积控制机构的多个可动板。 | ||
| 地址 | 日本国东京都 | ||