蒸发器输送安瓿

摘要

本发明公开一种半导体制造过程中所用的蒸发器输送系统(10)，其包括用于容纳可蒸发的源材料的多个垂直堆叠的容器(22)。每个垂直堆叠的容器包括延伸进入每个堆叠容器(22)内部(27)中的多个通风突起物(30)，从而提供用于使载气在相邻的垂直堆叠容器(22)之间通过的通道。

主权项

1. 一种利用适于接收至少一个容器的蒸发器安瓿、以及利用至少一个容器的方法，所述至少一个容器在其内限定了腔，所述方法包含：将含有固体的源材料引入所述至少一个容器；将所述固体源材料的至少一部分溶解于溶剂中；将所述至少一个容器放置于所述蒸发器安瓿中；和将所述溶剂从所述源材料移除。