纳米结晶形成

摘要

在一实施例中，本发明提供一种在一基材上形成一金属纳米结晶材料的方法，此方法包括：曝露一基材于一预处理工艺，在基材上形成一穿遂介电层，曝露基材于一后处理工艺，在穿遂介电层上形成一金属纳米结晶层，及在金属纳米结晶层上形成一介电覆盖层。此方法更提供形成具有纳米结晶密度为至少约5×10¹²cm^-2的金属纳米结晶层，尤以具有至少约8×10¹²cm^-2为佳。在一范例中，此金属纳米结晶层含有铂、钌或镍。在另一实施例中，本发明提供一种在基材上形成一多层的金属纳米结晶材料的方法，此包含：形成数个双层，其中每一双层包含沉积于一金属纳米结晶层上的一中间介电层。某些范例包括10、50、100、200或更多的双层。

主权项

1. 一种在一基材上形成一金属纳米结晶材料的方法，其包括：曝露一基材于一预处理工艺；在该基材上形成一穿遂介电层；曝露该基材于一后处理工艺；在该穿遂介电层上形成一金属纳米结晶层；及在该金属纳米结晶层上形成一介电覆盖层。