用于记录图像以及表面研究的方法和装置

摘要

本申请公开了一种记录图像的新方法。其涉及许多科学和技术领域中的显微镜方法和表面分析。具体地，其涉及在微电子学中使用的表面的成像和检测：无图案的和有图案的晶片和光掩膜。在其记录电幅度的意义上讲，其涉及全息术。应用包括显微镜方法、缺陷检测、散射测量、以及光学测量。

主权项

1. 一种收集图像平面中的测试样本的光学属性的方法，包括：将光束分离为参考光束和照明光束；使测试样本对于照明光束曝光；重新组合参考光束和照明光束；利用一个或多个图像传感器检测图像数据；以及从图像数据提取偏振、相位以及功率的点到点映像。