光学焦点区域三维光强分布检测装置

摘要

本发明涉及光学焦点区域三维光强分布检测装置。现有技术采用调整架与压电陶瓷扫描器连接影响了测量精度，并且光机定位要求高，装置实现难度大。本发明中光源经过光束整形器的整形后，通过物镜聚焦形成被测焦点，一维移动平台带动物镜实现轴向移动进行测试粗定位，三维移动平台带动光纤探针进行在焦点区域进行三维扫描实现三维光强分布检测，由监视光源、分光镜和图像采集器构成的监视光路通过光谱分光镜耦合到被测光路中对装置调节和测试过程进行监视，分析控制单元对整个测试过程和结果进行分析控制协调。本发明具有机械加工定位要求低、系统构成简单、器件要求低、测量精度高，使用便利等特点。

主权项

1、光学焦点区域三维光强分布检测装置，包括系统光源、光束整形器、光谱分光镜、物镜、光纤探针、光电传感器、分析控制单元、一维移动平台、三维移动平台、监视光源、分光镜和图像采集器，其特征在于：光束整形器、光谱分光镜、物镜依次设置在系统光源出射光束的光路上，光纤探针的针尖端对应物镜光束出射方向设置，光纤探针的光能出射端与光电传感器连接；一维移动平台与物镜固定连接，三维移动平台与光纤探针的针尖端连接；监视光源的出射光束方向上设置有分光镜，监视光源的出射光束经过分光镜反射后射入光谱分光镜的分光面，其在光谱分光镜分光面上的射入点与系统光源在光谱分光镜分光面上的射入点重合，并且光谱分光镜的分光面设置在监视光源经过分光镜分光面反射后的光束的光路与系统光源出射光路的角平分线上；图像采集器设置在监视光源经过分光镜分光面反射后光束的反向延长线上，一维移动平台、三维移动平台、光电传感器、图像采集器分别与分析控制单元信号连接。