用于测试头的接触探针和用于实现接触探针的方法

摘要

本发明描述一种用于有效测试多个半导体集成电子器件的测试头的接触探针(40)。接触探针(40)包括杆状探针体(41)，杆状探针体具有预定轮廓的横截面，并设置与具有偏心接触测尖(P)的至少一个尖端部相对应。根据本发明，有利的是，接触测尖(P)被定位在探针体横截面的轮廓内。本发明还描述一种包括具有垂直探针的测试头和用于实现具有偏心接触测尖的接触探针的方法，所述测试头包括多个具有偏心接触测尖(P)的接触探针(40)。

主权项

1. 一种具有垂直探针的测试头，所述垂直探针包括至少第一和第二模具，所述第一和第二模具分别具有至少一个引导孔，所述引导孔用于容纳至少一个接触探针(40)，所述接触探针(40)有效保证与待测集成电子器件的对应接触焊盘(50)的机械和电接触，所述至少一个接触探针(40)包括杆状探针体(41)，所述杆状探针体(41)具有矩形横截面，并与具有偏心接触测尖(P)的至少一个端部相对应而设置，其特征在于，所述偏心接触测尖(P)被定位在所述矩形横截面的一个边缘上，并通过沿至少第一切割平面(α)和第二不同切割平面(β)切割来获得的，其中所述至少第一切割平面(α)和第二不同切割平面(β)相对于与所述探针体(41)的轴(XX)正交的截面平面(π)倾斜，并通过所述偏心接触测尖(P)。