| 发明名称 | 搬运装置、电子部件处理装置及该处理装置中的搬运方法 | ||
| 摘要 | 一种搬运装置，其能用Z轴驱动装置使可以保持和释放专用盘KST的盘移送臂(205)沿Z轴方向移动，把该Z轴驱动装置作成在使盘移送臂(205)向Z轴下方移动的途中能把该移动动作从通常动作切换到转矩限制动作。用这样的盘移送臂(205)不必在存放专用盘KST的各存放器中设置升降机，另外，不必正确地知道专用盘KST的高度或其装载高度，进而，在不需要转矩限制的位置上，可以使盘移送臂(205)的移动速度维持高速。 | ||
| 申请公布号 | CN100511625C | 申请公布日期 | 2009.07.08 |
| 申请号 | CN200480019450.X | 申请日期 | 2004.06.02 |
| 申请人 | 株式会社爱德万测试 | 发明人 | 岛田健一;海沼正 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I;B65G49/07(2006.01)I;G01R31/26(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/677(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 陈 伟 |
| 主权项 | 1. 一种搬运装置，其用电子部件处理装置可以保持规定的对象物至少沿Z轴方向移动，其特征在于，具有：可以保持和释放规定的对象物的保持装置；Z轴驱动装置，其能使所述保持装置沿Z轴方向移动，并在使所述保持装置在Z轴向下方移动的途中可以使该移动动作从通常动作切换到转矩限制动作。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||