与等离子体腔室连接的固定的阻抗变换网络的装置和方法

摘要

在某个实施例中，提供用于驱动等离子体腔室的固定的阻抗变换网络的装置包括：适合于在有源RF匹配网络和与等离子体腔室相关的等离子体腔室负载之间连接的预匹配网络。该预匹配网络包括：(1)第一电容性元件；(2)与第一电容性元件并联以形成并联电路的电感性元件，其呈现步进阻抗到有源RF匹配网络的输出以使所需的驱动等离子体腔室负载的电压减小；和(3)连接并联电路和适合于连接等离子体腔室负载的第二电容性元件。第二电容性的元件减小或消除了对应于与等离子体腔室负载相关的电感的至少部分电抗。提供了多个其它的实施例。

主权项

1、一种提供用于驱动等离子体腔室的固定的阻抗变换网络的装置，包括：适合于在有源RF匹配网络和与等离子体腔室相关的等离子体腔室负载之间连接的预匹配网络，其中预匹配网络包括：第一电容性元件；与第一电容性元件并联以形成并联电路的电感性元件，其对有源RF匹配网络的输出呈现步进阻抗，以使驱动等离子体腔室负载所需的电压减小；和连接到并联电路并适合于连接等离子体腔室负载的第二电容性元件，其中第二电容性元件至少部分减小或消除了对应于与等离子体腔室负载相关的电感的电抗。