大口径平面光学元件的面形检测装置和方法

摘要

大口径平面光学元件的面形检测装置和方法，属于光学元件质量检测装置和方法，目的是解决现有大口径平面光学元件的检测装置及方法存在的不足，包括机架、图像采集与处理系统和三维精密运动控制系统；三维精密运动控制系统包括可转动安装在机架上的垂直运动导轨、能够在垂直运动导轨上滑动的水平运动导轨，垂直运动导轨上固定安装的转轴与旋转动力机构连接；图像采集与处理系统包括设置在水平运动导轨的滑块上的第一扫描五棱镜、与水平运动导轨同轴固定安装的第一参考五棱镜和第二扫描五棱镜，与垂直运动导轨同轴固定安装的第二参考五棱镜以及与水平运动导轨同轴固定安装的光学头。可应用于对大口径平面光学元件进行检测，特别适于在线检测。

主权项

1、大口径平面光学元件的面形检测装置，其特征在于，所述检测装置包括机架、图像采集与处理系统和三维精密运动控制系统；三维精密运动控制系统包括可转动安装在机架上的垂直运动导轨、能够在垂直运动导轨上滑动的水平运动导轨，垂直运动导轨上固定安装的转轴与旋转动力机构连接；图像采集与处理系统包括设置在水平运动导轨的滑块上的第一扫描五棱镜、与水平运动导轨同轴固定安装的第一参考五棱镜和第二扫描五棱镜、与垂直运动导轨同轴固定安装的第二参考五棱镜以及与水平运动导轨同轴固定安装的光学头。