发明名称 IRON SILICIDE SPUTTERING TARGET AND METHOD FOR PRODUCTION THEREOF
摘要
申请公布号 EP1548148(B1) 申请公布日期 2009.07.08
申请号 EP20030795274 申请日期 2003.09.01
申请人 NIPPON MINING & METALS CO., LTD. 发明人 ODA, KUNIHIRO;SUZUKI, RYO
分类号 B22F9/08;C23C14/34;B22F1/00;B22F3/105;B22F3/14;B22F3/15;C01B33/06;C04B35/58;C04B35/645;C22C33/02;C22C38/00;C23C14/35 主分类号 B22F9/08
代理机构 代理人
主权项
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