三氯硅烷的制备方法和三氯硅烷的制备装置

摘要

本发明涉及三氯硅烷的制备方法和装置，所述三氯硅烷的制备方法包括：使四氯硅烷和氢在900℃～1900℃下反应、生成含有三氯硅烷和氯化氢的反应生成气体，将由反应室导出的反应生成气体冷却至300℃～800℃，由此使反应生成气体的冷却速度适当，防止生成四氯硅烷的逆反应和聚合物的副生，在该冷却的反应生成气体和导入到反应室2中的四氯硅烷或氢的至少一方之间进行热交换，进行预热。

主权项

1. 三氯硅烷的制备方法，该制备方法具备以下步骤：将四氯硅烷和氢导入到反应室内，通过900℃～1900℃下的转换反应生成含有三氯硅烷和氯化氢的反应生成气体的转换反应步骤；将由上述反应室导出的上述反应生成气体骤冷至300℃～800℃的冷却步骤；在冷却的上述反应生成气体和导入到上述反应室的上述四氯硅烷或上述氢的至少一方之间进行热交换，对上述四氯硅烷或上述氢的至少一方进行预热的预热步骤。