防止异物附着的表面弹性波设备的制造方法

摘要

一种表面弹性波设备的制造方法，由于在用绝缘膜(6)将梳状电极(2)和反射器(5a、5b)的整个区域覆盖的状态下，在电极部(3a、3b)上形成导体层(4)，因此在形成导体层(4)时，由绝缘膜(6)保护梳状电极(2)和反射器(5a、5b)，没有异物附着在梳状电极(2)和反射器(5a、5b)，性能良好。从而，提供一种廉价，且性能良好的表面弹性波设备的制造方法。

主权项

1、一种防止异物附着的表面弹性波设备的制造方法，其特征在于，该表面弹性波设备，具有：压电基板；在该压电基板的一面侧设置的两两成对的至少一组梳状电极；与该梳状电极连接的电极部；在该电极部上设置的导体层；与所述梳状电极的两侧邻接设置的反射器；和按照覆盖所述梳状电极和所述反射器以及二者之间的间隔在内的整个区域的方式形成的绝缘膜，在所述压电基板的一面侧，形成所述梳状电极和所述反射器，电连接所述梳状电极和所述反射器的保护导体形成在所述压电基板的一面侧的除了所述梳状电极和所述反射器以及二者之间的间隔之外的整个区域之后，将所述绝缘膜形成在所述压电基板的整个所述一面侧后，除去与所述电极部对应的位置的所述绝缘膜，然后，在所述电极部上进行形成所述导体层的工序后，除去所述梳状电极和所述反射器的区域外的所述绝缘膜，并且，除去所述保护导体。