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发明名称
摘要
申请公布号
JP4291080(B2)
申请公布日期
2009.07.08
申请号
JP20030285214
申请日期
2003.08.01
申请人
发明人
分类号
C03C15/00;C03B20/00;H01L21/205
主分类号
C03C15/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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