图案形成体的制造方法及图案制造装置

摘要

本发明提供一种图案形成体的制造方法及制造装置，在基板(400)上形成的图案(P1～P6)是由从压电驱动型喷头组件(300)喷出的液滴形成的。从各小孔(300-1～300-n)喷出的各液滴的大小因机械、电学特性而不同。从各小孔(300-1～300-n)喷出的液滴按照着落在各图案(P1～P6)的每单位面积的液滴量相等的方式进行间断，从而形成均匀的图案。

主权项

1. 一种图案形成体的制造方法，是通过一边改变由多个喷头一体化而成的喷头组件和基板的相对位置，一边从所述各喷头向所述基板喷出多个液滴，从而在所述基板上形成图案的图案形成体的制造方法，其特征是，与要形成的图案相对应，在所述基板表面形成由所述液滴可以浸润展开的亲液性区域构成的图案，根据预先确定的规则来间断所述各喷头的液滴的喷出，以使得着落在所述亲液性区域的每单位面积的液滴量均匀化，所述各喷头根据对所述各喷头预先确定、并且表示着落所述液滴的所述亲液性区域上的位置的喷出位置信息，来喷出所述液滴，所述喷出位置信息是指定均等地位于所述亲液性区域上的多个喷头当中进行液滴的喷出的点的信息，并根据要形成的图案的体积和所述各喷头的喷出量来确定，所述喷出位置信息可以如下生成，即、根据所述各喷头的喷出量当中最小的最小喷出量和要形成的图案的体积算出所述图案内的点数，算出所述各喷头的喷出量的平均值，根据所述平均值来确定每个点有无喷出，算出所述各喷头的喷出量和所述平均值的各差分值，根据所述各差分值对每个点有无喷出进行修正而生成，所述喷出位置信息是按照间断所述液滴的喷出的位置在所述亲液性区域内近似均等地分散的方式来确定的。