磁场可控介磁稳定悬浮转子微陀螺

摘要

一种微机电技术领域的磁场可控介磁稳定悬浮转子微陀螺，上定子上设置电极层、两层绝缘支撑层、介磁材料层、环形线圈层，两层绝缘支撑层设置在介磁材料层的上下表面，电极层设置在一个绝缘支撑层的外表面，环形线圈层设置在另一个绝缘材料层的外表面，电极层中心设置公共电极，从内向外依次设置扇形检测加矩电极、扇形旋转电极；下定子结构与上定子相同，也设置电极层、两层绝缘支撑层、介磁材料层、环形线圈层；转子为外齿转子或者内含齿转子。本发明解决了上述背景技术中的问题，集成了大的悬浮转子陀螺精度高和MEMS微陀螺成本低、可批量化的特点。

主权项

1、一种磁场可控介磁稳定悬浮转子微陀螺，包括：上定子(1)、转子(2)、下定子(3)、支撑环(4)，其特征在于，上定子(1)上设置第一电极层(6)、第一绝缘支撑层(5)、第二绝缘支撑层(8)、第一介磁材料层(9)、第一环形线圈层(7)，第一绝缘支撑层(5)、第二绝缘支撑层(8)设置在第一介磁材料层(9)的上下表面，第一电极层(6)设置在第一绝缘支撑层(5)的外表面，第一环形线圈层(7)设置在第二绝缘支撑层(8)的外表面，第一环形线圈层(7)从外到内依次设置第二环形线圈(11)、第一环形线圈(10)、第三环形线圈(12)和第四环形线圈(13)，第一电极层(6)中心设置第一公共电极(16)，从内向外依次设置8个沿圆周方向均匀布置的扇形检测加矩电极(14)、18个沿圆周方向均匀布置的扇形旋转电极(15)；下定子(3)设置第二电极层(18)、第三绝缘支撑层(17)和第四绝缘支撑层(20)、第二介磁材料层(21)、第二环形线圈层(19)，第三绝缘支撑层(17)和第四绝缘支撑层(20)设置在第二介磁材料层(21)的上下表面，第二电极层(18)设置在第三绝缘支撑层(17)的外表面，第二环形线圈层(19)设置在第四绝缘支撑层(20)的外表面，第二环形线圈层(19)从外到内依次设置第六环形线圈(23)、第五环形线圈(22)、第七环形线圈(24)和第八环形线圈(25)，第二电极层(18)中心设置第二公共电极(28)，从内向外依次设置8片沿圆周方向均匀布置的扇形检测加矩电极(26)、18个沿圆周方向均匀布置的扇形旋转电极(27)；转子(2)为外齿转子或者内含齿转子。