| 发明名称 | 一种改进HVPE传输气流均匀性的装置 | ||
| 摘要 | 改进HVPE传输气流均匀性的装置，在立式HVPE生长系统中，生长室反应腔上方设有一个匀气环，匀气环设有连通的气路进口和气路出口构成，其中气路出口设有4-30个，在圆环上均匀分布，匀气环气路进口接有源气体输气终端。尤其是匀气环气路进口至每个气路出口的气体传输管路路径相同。 | ||
| 申请公布号 | CN101475150A | 申请公布日期 | 2009.07.08 |
| 申请号 | CN200810235278.1 | 申请日期 | 2008.12.03 |
| 申请人 | 南京大学 | 发明人 | 修向前;张荣;陆海;谢自力;顾书林;施毅;韩平;朱顺明;胡立群;郑有炓 |
| 分类号 | C01B21/06(2006.01)I | 主分类号 | C01B21/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 南京天翼专利代理有限责任公司 | 代理人 | 汤志武;王鹏翔 |
| 主权项 | 1、改进HVPE传输气流均匀性的装置，其特征是在立式HVPE生长系统中，生长室反应腔上方设有一个匀气环，匀气环设有连通的气路进口和气路出口构成，其中气路出口设有4-30个，在圆环上均匀分布，匀气环气路进口接有源气体输气终端。 | ||
| 地址 | 210093江苏省南京市汉口路22号 | ||