硬磁悬浮振动微陀螺

摘要

本发明涉及一种微机电技术领域的硬磁悬浮振动微陀螺，包括硬磁悬浮振子、上定子、下定子、铁芯线圈阵列、位移检测电极，硬磁悬浮振子放置在上定子、下定子之间，位移检测电极环绕分布在硬磁悬浮振子的周围的同一个平面内，铁芯线圈阵列分布在硬磁悬浮振子的周围，所有电极关于硬磁悬浮振子中心对称分布。利用硬磁悬浮振子在一定频率下的参考振动作为工作状态，当外界有加速度时，运动方向垂直于加速度方向将会产生柯氏力，使硬磁悬浮振子平移或扭动，产生电势。通过检测输出电极上的电势检测外界的加速度。本发明结构简单，加工工艺简单，不需要高速转动节省功耗。

主权项

1、一种硬磁悬浮振动微陀螺，包括硬磁悬浮振子、上定子、下定子、铁芯线圈阵列、位移检测电极，其特征在于硬磁悬浮振子放置在上定子、下定子之间，位移检测电极环绕分布在硬磁悬浮振子的周围的同一个平面内，铁芯线圈阵列分布在硬磁悬浮振子的周围，其中：所述上定子上设置八个轴向检测驱动电极和一个中央公共电极，中央公共电极为截面为正方形的扁平立方体，它有上下两个平行的正方形，四个长方形侧面，其中一个正方形面面对硬磁悬浮振子，周围的八个轴向检测驱动电极均匀分布在中央公共电极的四周，对应中央公共电极的正方形的每条侧边处的长方形侧面，沿正方形边长方向一分为二对应分布两个长方体轴向检测驱动电极；所述下定子上设置八个轴向检测驱动电极和一个中央公共电极，中央公共电极为截面为正方形的扁平立方体，它有上下两个平行的正方形，四个长方形侧面，其中一个正方形面面对硬磁悬浮振子，并且其两个正方形面分别与上极板中央公共电极的正方形面对应平行，即空间上同轴平行于上极板中央公共电极，周围的八个轴向检测驱动电极均匀分布在中央公共电极的四周，对应中央公共电极的正方形的每条侧边处的长方形侧面，沿正方形边长方向一分为二对应分布两个长方体轴向检测驱动电极，且下定子中央公共电极的两个正方形面分别与上定子中央公共电极的正方形面对应平行，并且下定子中央公共电极的两个正方形面的四条边也与上定子中央公共电极的正方形面的四条边对应平行，即上下极板中央公共电极完全同轴平行；所述铁芯线圈阵列，共由二十个铁芯线圈组合而成，关于中心硬磁悬浮振子中心对称，其中硬磁悬浮振子上方，硬磁悬浮振子下方分别各分布有4个铁芯线圈，硬磁悬浮振子和轴向检测驱动电极的前后左右分别各分布有3个铁芯线圈，并且上下左右前后的铁芯线圈在对应的方向上的面形成N-N或者S-S的一一对应的磁极极性关系。