压电体元件的制造方法,压电体元件和液滴喷出式记录头

摘要

本发明提供压电体元件制造方法，工艺简单，能够提供成本低的压电体元件，该方法包括将含有金属微粒子的液体(2)由喷墨头(101)直接在压电体层(40)上进行图形涂布，然后热处理将液体(2)转变为金属膜。

主权项

1、一种压电体元件的制造方法，其特征在于包括：在基板上形成下部电极的工序；在上述下部电极上形成压电体层的工序；将包含金属微粒子及第1溶剂的第1溶液喷出到上述压电体层上的工序；通过对上述第1溶液进行热处理而除去上述第1溶剂的工序；通过对上述金属微粒子进行热处理而形成金属膜的工序。