无线接收式微电子机械微波功率传感器及其制备方法

摘要

无线接收式微电子机械微波功率传感器及其制备方法是一种利用共面波导天线(1)接收微波功率从而引起电阻发热，通过热电偶测出微波信号幅度的传感器及其制备方法。该传感器是在砷化镓衬底(8)上，形成共面波导天线(1)，共面波导天线(1)再与共面波导传输线(4)连接从而传输微波信号，在共面波导传输线(4)终端有两个并联的电阻作为微波负载电阻(5)，负载电阻(5)通过发热引起其右端热电堆(7)的发热，热电堆(7)由于发热的不均而产生了冷热节点，形成温度差，该温差由于赛贝克效应在热电堆的两个输出端产生直流电压由两个压焊块(6)输出，而该输出热电压与输入的待测微波功率成正比，测量这个电压便可以的得出微波功率的数值。

主权项

1、一种无线接收式微电子机械微波功率传感器，其特征在于该传感器以砷化镓为衬底(8)，在砷化镓衬底(8)上有一层铝镓砷薄膜(9)，在铝镓砷薄膜(9)上面有一层共面波导天线(1)，天线上有一段被刻蚀掉的U型槽(3)，在天线两边各有一个寄生单元贴片(2)，待测的微波信号用前端的共面波导天线引入，中间部分用渐近线结构完成共面波导天线(1)末端与共面波导传输线(4)连接，在共面波导传输线(4)终端有与特性阻抗相匹配的两个并联的负载电阻，在负载电阻(5)的外侧对应设有热电堆(7)，热电堆(7)的两端通过导线与两个压焊块(6)相连接。