| 发明名称 | 微驱动器 | ||
| 摘要 | 一种微驱动器，在可动部的刚性和重量之间、以及可动部的刚性和静电力之间的双方综合调整。该微驱动器(100)，具备基台(1)、由基台(1)支撑着的第1梳型电极(2)、具有与第1梳型电极(2)相对的第2梳型电极(8)和向基台(1)的方向突出的至少1个加强筋(9)的可动部(6)、以及以能够进行可动部(6)相对于基台(1)的变位的方式支撑可动部(6)的弹性支撑部(3)。第2梳型电极(8)的高度和至少1个加强筋(9)的高度相互不同，第1梳型电极(2)具有多个梳齿部，第1梳型电极(2)中的和加强筋(9)相对的部分的槽的深度比第1梳型电极(2)的梳齿部的根部深，至少1个加强筋(9)的高度比第2梳型电极(8)的高度高。 | ||
| 申请公布号 | CN100510835C | 申请公布日期 | 2009.07.08 |
| 申请号 | CN200510067674.4 | 申请日期 | 2005.04.25 |
| 申请人 | 松下电器产业株式会社 | 发明人 | 黑塚章;虫鹿由浩;梶野修 |
| 分类号 | G02B26/08(2006.01)I;H02N1/00(2006.01)I;B81B5/00(2006.01)I | 主分类号 | G02B26/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 汪惠民 |
| 主权项 | 1. 一种微驱动器，其具备基台、由前述基台支撑着第1梳型电极、具有与前述第1梳型电极相对的第2梳型电极和向前述基台的方向突出的至少1个加强筋的可动部、以及以前述可动部相对于前述基台能够变位的方式支撑前述可动部的弹性支撑部；前述第1梳型电极具有多个梳齿部，前述第1梳型电极中的和前述加强筋相对的部分的槽的深度比前述第1梳型电极的梳齿部的根部深，前述至少1个加强筋的高度比前述第2梳型电极的高度高。 | ||
| 地址 | 日本大阪府 | ||