台面型压电振动片

摘要

本发明提供了一种台面型压电振动片，其选择了适合于压电基板尺寸的台面蚀刻深度。本发明的台面型压电振动片是在形成为矩形状的压电基板12的板面上具有厚度尺寸比周边部16大的振动部14的台面型压电振动片10，上述的振动部14形成为，阶梯部位于压电基板12中生成的弯曲模式的波腹位置。另外，其特征在于，如果用于形成上述阶梯部的蚀刻深度的最小值Md_min以y表示，则设压电基板12的长边的长度为x，振动部14的板厚为t时，以板厚t为基准，蚀刻深度y满足y＝-1.32×(x/t)+43±5(％)的关系。

主权项

1. 一种台面型压电振动片，该台面型压电振动片在形成为矩形状的压电基板的板面上，具有周边部、厚度尺寸比上述周边部大的振动部、以及作为上述周边部和上述振动部的边界的通过腐蚀形成的阶梯部，其特征在于，设压电基板的长边的长度为x，上述振动部的板厚为t时，以板厚t为基准，上述阶梯部的蚀刻深度y满足的关系。