紫外光源、包括紫外光源的激光治疗设备和包括紫外光源的曝光设备

摘要

紫外光源(1)包括：产生红外区的信号光的激光光源(10)；光放大器(20)，包括光纤放大器(21，22)，并放大激光光源(10)产生的信号光；和波长转换光学系统(30)，把光放大器(20)放大的信号光转换成紫外光并输出转换的光。紫外光源(1)利用单模光纤激光器(26)作为激励光源，至少用于一级光放大器(20)的光纤光放大器(22)。

主权项

1. 一种紫外光源，包括：激光光源，该激光光源产生红外-可见波段的光；光放大器，该光放大器包括多级光纤放大器，用于顺序地放大所述激光光源产生的光；和波长转换光学系统，该波长转换光学系统包括至少一个波长转换晶体，并把所述光放大器放大的光转变成紫外光作为输出；其中：所述多级光纤放大器包括末级光纤放大器，该末级光纤放大器具有通过单模光纤激光器制成的激励光源，通过设置在所述末级光纤放大器的输入端口处的波分复用器，输入到所述末级光纤放大器中的光与来自所述单模光纤激光器的激励光共轴混合。