控制处理系统操作的方法

摘要

在一种控制处理系统操作的方法中，主机、处理工具和抽空系统的组件(例如，消解工具)被连接到系统总线。消解工具监测在系统总线上与主机和处理工具之间传送的信号和直接从处理工具接收的信号。消解工具使用包含在该监测信号内的信息来产生关于消解工具的工作特性的处理工具的信号。该信号或者直接或者在系统总线上被传送至处理工具，它使用所产生的信号来控制处理工具的操作状态。

主权项

1. 一种控制处理系统的操作的方法，所述处理系统包含处理工具和用于所述处理工具的室的抽空系统，所述方法包含：监测从所述处理工具传送的信号；利用包含在所监测的信号内的信息产生包含关于所述抽空系统组件的工作特性或状态的所述处理工具的信息的信号；以及传送所产生的信号。