发明名称 Method of manufacturing a semiconductor device
摘要
申请公布号 KR100906307(B1) 申请公布日期 2009.07.07
申请号 KR20020072663 申请日期 2002.11.21
申请人 发明人
分类号 H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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