发明名称 Substrates and methods for fabricating the same
摘要 An embodiment of the invention provides a substrate. The substrate comprises a single crystal substrate. An epitaxial buffer film is on the single crystal substrate. An epitaxial ZnGa2O4 is on the epitaxial buffer film.
申请公布号 US7557374(B2) 申请公布日期 2009.07.07
申请号 US20070627219 申请日期 2007.01.25
申请人 INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE 发明人 LIN YAN-RU;TSAI SONG-YEU
分类号 H01L29/04 主分类号 H01L29/04
代理机构 代理人
主权项
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