发明名称 MOS transistor manufacturing
摘要 A MOS transistor made in monolithic form, vias contacting the gate and the source and drain regions of the transistor being formed on the other side of the channel region with respect to the gate.
申请公布号 US7556995(B2) 申请公布日期 2009.07.07
申请号 US20060604462 申请日期 2006.11.27
申请人 STMICROELECTRONICS CROLLES 2 SAS;COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 CORONEL PHILIPPE;GALLON CLAIRE;FENOUILLET-BERANGER CLAIRE
分类号 H01L21/336;H01L21/3205 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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