| 摘要 |
Dispositif micromécanique et/ou nanomécanique (100) comportant au moins un premier élément (108) à base d'au moins un semi-conducteur, mobile par rapport à au moins un second élément (106) du dispositif à base d'au moins un semi-conducteur, au moins une paroi du premier élément mobile disposée en regard d'au moins une paroi du second élément étant susceptible d'entrer en contact avec ladite paroi du second élément, et lesdites parois du premier élément mobile et du second élément étant recouvertes au moins partiellement par un matériau anti-collage conducteur (118) de telle sorte que le matériau anti-collage conducteur recouvrant ladite paroi du second élément soit disposé au moins partiellement en regard du matériau anti-collage conducteur recouvrant ladite paroi du premier élément mobile.
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